东方晶源开启批量交付模式 两款电子束
•
690天前发布
近日，随着上海复工复产的快速推进，东方晶源积极组织设备交付工作，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付上海客户。此次出机，是东方晶源继电子束量测检测设...
近日，随着上海复工复产的快速推进，东方晶源积极组织设备交付工作，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付上海客户。此次出机，是东方晶源继电子束量测检测设...
近日，东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）出机国内知名集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子。自2021年6月首台12英寸CD-SEM出机，时隔短短9个月，东方晶源在电子束量测领域再次取得重...