电子束量测再迎重大进展，东方晶源首
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752天前发布
近日，东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）出机国内知名集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子。自2021年6月首台12英寸CD-SEM出机，时隔短短9个月，东方晶源在电子束量测领域再次取得重...
近日，东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）出机国内知名集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子。自2021年6月首台12英寸CD-SEM出机，时隔短短9个月，东方晶源在电子束量测领域再次取得重...